內(nèi)層開短路改進(jìn)工作總結(jié)

降低內(nèi)層開短路缺陷工作總結(jié)

降低內(nèi)層開短路改進(jìn)小組

一、概述

4月中旬內(nèi)層AOI一次送檢不合格率持續(xù)偏高，最高達(dá)到9.86%，影響了生產(chǎn)進(jìn)度及成品率。因此工程部將“內(nèi)層AOI一次送檢不格率降至5%”列入工藝組改進(jìn)項(xiàng)目之一，由林綿鋒先生、張鎮(zhèn)祥先生、周曉煌先生、蔡錦雄先生和林挺先生組成降低內(nèi)層開短路改進(jìn)小組，目的是尋找缺陷產(chǎn)生的原因，以便提出針對(duì)性改進(jìn)措施，提高成品率。二、改進(jìn)方法

檢查貼膜后板面質(zhì)量情況，在缺陷點(diǎn)板邊作標(biāo)記。檢查曝光后板面質(zhì)量情況，在缺陷點(diǎn)MALAR膜上作標(biāo)記。

蝕刻、AOI檢查后，將板面缺陷對(duì)照MALAR膜上所作的標(biāo)記進(jìn)行分析缺陷產(chǎn)生的原因。采取針對(duì)性改進(jìn)措施。

三、內(nèi)層開短路原因1．前處理效果差2．貼膜溫度低3．干膜被壓傷4．曝光雜物多5．顯影液濃度高6．顯影液添加量不足7．點(diǎn)檢不完善1．除塵效果差2．貼膜溫度變化大3．壓輥擦傷4．傳送輥老化5．曝光能量不均勻6．曝光機(jī)真空度不足7．顯影段入口視線差8．蝕刻循環(huán)量小9．ACS搖擺效果差1．磨板貼膜速度快2．壓輥清潔不凈3．菲林曝光框清潔不凈4．放板超出范圍5．參數(shù)超出范圍6．沖板不規(guī)范材料1．板面樹脂點(diǎn)2．板面凹陷、劃傷3．板面銅瘤4．CCL磨板板面擦傷環(huán)境干膜房潔凈度內(nèi)層開短路操作法設(shè)備四、改進(jìn)措施1．材料

由于內(nèi)層火山灰前處理無法除去板面的銅瘤、樹脂點(diǎn)、殘膠等板面雜物（導(dǎo)致內(nèi)層板件

缺陷率高的原因之一），所以只能通過適當(dāng)提高貼膜溫度及壓輥壓力來部分抵減板面雜物對(duì)質(zhì)量的影響。

規(guī)定板件在CCL磨板時(shí)只能使用800目的砂帶紙，減少板面擦傷。

2．環(huán)境：干膜房潔凈度是決定產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一，因此每周保養(yǎng)時(shí)工序都投入了大量的人力進(jìn)行清潔，注意清潔每一角落，減少不必要物品。每周保養(yǎng)后由改進(jìn)小組驗(yàn)收合格后方可生產(chǎn)。干膜房潔凈度的提高為產(chǎn)品合格率的提升奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。3．方法

提高前處理質(zhì)量

提高火山灰濃度：要求將火山灰濃度控制在15-20%。提高磨板壓力：要求將磨痕控制在12-15mm。改進(jìn)磨板機(jī)水洗過濾裝置，提高過濾效果。提高貼膜機(jī)壓輥溫度，減少貼膜不良。

4月份我重點(diǎn)跟進(jìn)了貼膜機(jī)壓輥溫度的變化情況，初步掌握了壓輥溫度變化規(guī)律。經(jīng)過反復(fù)校正、驗(yàn)證，對(duì)貼膜機(jī)溫度暫作如下規(guī)定：

杜邦713干膜：線寬/間距大于4mil，溫度設(shè)定值為115℃；線寬/間距小于等于4mil的細(xì)線路板件，溫度設(shè)定值為118℃。

日立HF240干膜、杜邦PM115、PM120干膜：溫度設(shè)定值為118℃。經(jīng)過采取上述措施，貼膜不良缺陷明顯得到控制。

改進(jìn)干膜房放板裝置：針對(duì)目前干膜房放置板件的放板車、放板框因不規(guī)范而導(dǎo)致壓傷干膜的情況，通過在放板車、放板框上增置一塊18*22英寸的PVC板，既有效地消除了干膜被壓傷，又節(jié)約了改造成本。

規(guī)定手動(dòng)曝光操作規(guī)范：對(duì)線寬/間距大于6mil的板件，在用趕氣輥均勻趕氣之后，必須用除塵粘輥清潔MALAR面，降低半自動(dòng)曝光機(jī)生產(chǎn)板件的不良率。降低碳酸鈉開缸量：原有顯影液開缸量偏高，顯影液濃度較高，容易導(dǎo)致顯影過度。經(jīng)過驗(yàn)證，將碳酸鈉開缸量從原來的9公斤降低為6公斤。

增加碳酸鈉補(bǔ)充添加量：原碳酸鈉補(bǔ)充添加量為每生產(chǎn)40塊板件添加20秒，經(jīng)計(jì)算，該添加量下顯影液能力接近滿負(fù)荷，因此將添加量修改為每生產(chǎn)20塊板件添加20秒，提高顯影能力。

采取顯影槽保養(yǎng)時(shí)關(guān)掉溢流裝置，顯影槽、蝕刻槽保養(yǎng)后必須用高壓水沖洗槽壁等措施，完善保養(yǎng)規(guī)程，提高保養(yǎng)質(zhì)量。

蝕刻過濾芯更改為碳芯，有效吸咐蝕刻液中的有機(jī)雜物，減少銅點(diǎn)。繼續(xù)完善現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄，提高了點(diǎn)檢的針對(duì)性、有效性，效果顯著。4．設(shè)備

保養(yǎng)時(shí)將除塵膠棍送返磨，提高除塵效果；更換HAKUTA貼膜前已老化的傳送膠輪；更換HAKUTA高效過濾箱的磨刷。

HAKUTA貼膜機(jī)加熱棒涂導(dǎo)熱膠，提高加熱均勻性。

修補(bǔ)HAKUTA熱壓輥表面凹陷后貼膜仍有小氣泡，已更換熱壓輥。每周兩次用能量計(jì)校正曝光機(jī)能量，保證曝光能量穩(wěn)定，減少曝光不良。

更換真空接口，提高AX28自動(dòng)曝光機(jī)的真空度（小于-10inHg），減少曝光不良。改進(jìn)顯影段入口的蓋板裝置，減少疊板。

更換ACS線蝕刻機(jī)過濾系統(tǒng)，加大蝕刻液的循環(huán)量，提高蝕刻質(zhì)量。更換ACS酸蝕線傳送桿鎖緊螺絲，減少傳送故障。5．操作

增加崗位操作可視化，規(guī)范各崗位操作。

搜集相關(guān)缺陷圖片，由工藝總結(jié)生產(chǎn)操作中應(yīng)注意的事項(xiàng)，結(jié)合近期公司推廣應(yīng)用六西

格瑪，對(duì)內(nèi)層員工針對(duì)性地進(jìn)行操作培訓(xùn)。ACS線沖板區(qū)增加管位裝置，完善防呆措施。五、改進(jìn)結(jié)果

經(jīng)過生產(chǎn)、設(shè)備、工藝人員的共同努力，內(nèi)層各項(xiàng)不合格率逐漸下降（如下圖）：12%10%8%6%4%2%0%不合格率開路、缺口短路第21周9.86%7.06%3.36%第22周8.70%6.27%2.69%第23周5.82%3.81%1.57%第24周4.12%2.55%0.52%第25周3.02%2.14%0.45%第25周內(nèi)層板件一次送檢不合格率為3.02%，比第21周下降了6.84%，其中開路、缺口及短路缺陷比例分別為2.14%及0.45%，分別比第21周下降了4.92%及2.91%，改進(jìn)效果較好。

六、改進(jìn)小組工作總結(jié)

1．運(yùn)用科學(xué)方法尋找缺陷產(chǎn)生原因。

以往分析缺陷來源習(xí)慣于根據(jù)缺陷的類型、特征分析造成缺陷的來源，由于造成同一缺陷往往有多種可能原因，所以原有的方法并不能保證所作出的判斷百分之百準(zhǔn)確。本次改進(jìn)活動(dòng)中，在杜邦公司鄧文先生的幫助下，采用上述第二點(diǎn)所提到的分析方法，對(duì)每一制程進(jìn)行驗(yàn)證、分析，準(zhǔn)確找到了缺陷產(chǎn)生的真正原因，從而能對(duì)癥下藥，效果明顯。2．注重凈化房的清潔工作。

凈化房的潔凈度是影響產(chǎn)品質(zhì)量的最關(guān)鍵因素之一，在每周保養(yǎng)時(shí)內(nèi)層工序都注意投入大量的人力徹底清潔凈化房每一角落，提高凈化房的潔凈度，從而為不良率的下降奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。3．主動(dòng)管理。

六西格瑪要求我們?cè)谑虑榘l(fā)生之前就采取行動(dòng)，而不是在事后才作出反應(yīng)，在工作中要經(jīng)常詢問作事的理由而不是因?yàn)閼T例就盲目地遵循。

例如在改進(jìn)過程中發(fā)現(xiàn)貼膜溫度偏低（約85-90℃），于是將貼膜溫度提高了15℃，在此過程中有部分人感到疑惑不解：以往一直按此貼膜溫度操作，貼膜質(zhì)量挺好的，何必多此一舉？由于干膜在110±10℃的溫度下流動(dòng)性較好，與銅面之間的結(jié)合力較強(qiáng)，可以有效減少貼膜不良，所以必須提高貼膜溫度而不是拘泥于慣例就盲目使用原有貼膜溫度。事實(shí)證明，在提高貼膜溫度之后，貼膜不良缺陷已明顯減少。所以在今后生產(chǎn)管理中，我們需要關(guān)注經(jīng)常被忽略的動(dòng)作細(xì)節(jié)，養(yǎng)成動(dòng)態(tài)的、預(yù)防的、積極的良好管理習(xí)慣。4．確保關(guān)鍵參數(shù)的穩(wěn)定性。

只有確保關(guān)鍵參數(shù)，如貼膜溫度、曝光能量、曝光真空度等參數(shù)的穩(wěn)定，才可以保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。5．加強(qiáng)員工操作培訓(xùn)。

針對(duì)內(nèi)層工序新員工多且操作經(jīng)驗(yàn)不足，經(jīng)常因誤操作面導(dǎo)致板件出現(xiàn)質(zhì)量問題的實(shí)際情況，在搜集相關(guān)缺陷圖片的基礎(chǔ)上，由工藝總結(jié)了生產(chǎn)操作中應(yīng)注意的事項(xiàng)，結(jié)合近期公司推廣應(yīng)用六西格瑪，對(duì)內(nèi)層員工針對(duì)性地進(jìn)行操作培訓(xùn)，要求員工將六西格瑪?shù)睦砟钸\(yùn)用到生產(chǎn)中，在乎生產(chǎn)中的每一件事，第一次就把事情做對(duì)，養(yǎng)成良好的操作習(xí)慣，敢干創(chuàng)新，提升良品率，從而使得內(nèi)層工序連續(xù)幾周AOI一次送檢不合格率持續(xù)下降。6．協(xié)力合作無界限。

本次改進(jìn)項(xiàng)目所取得的成果是與改進(jìn)小組的精誠(chéng)合作分不開的，改進(jìn)小組組成了一個(gè)六西格瑪團(tuán)隊(duì)，協(xié)力合作，為實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目的目標(biāo)而共同努力。7．運(yùn)用六西格瑪管理方法，不斷完善現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄。

根據(jù)楊曉新經(jīng)理關(guān)于“6sigma管理方法與現(xiàn)場(chǎng)管理”專題講座，改進(jìn)小組共同討論現(xiàn)場(chǎng)點(diǎn)檢記錄表，運(yùn)用六西格瑪管理方法，針對(duì)生產(chǎn)的實(shí)際情況對(duì)點(diǎn)檢記錄作進(jìn)一步完善，從而明顯提高了點(diǎn)檢的針對(duì)性、有效性，效果顯著。七、存在問題：

1．銅點(diǎn)致短路占最后內(nèi)層報(bào)廢比例較高。

2．ACS線蝕刻段搖擺故障率較高，影響了蝕刻質(zhì)量。3．AX28曝光不良仍偶有發(fā)生。

4．部分員工操作經(jīng)驗(yàn)仍不足，質(zhì)量不穩(wěn)定。八、工作計(jì)劃1．針對(duì)銅點(diǎn)缺陷導(dǎo)致目前高多層板件內(nèi)層短路報(bào)廢比例大的的情況，計(jì)劃于七月份完成以下工作：

分析銅點(diǎn)產(chǎn)生的原因。

考究顯影液PH值對(duì)顯影質(zhì)量的影響。驗(yàn)證ACS線顯影過濾系統(tǒng)的有效性。

測(cè)試ACS線的顯影、蝕刻加工能力及蝕刻的均勻性。繼續(xù)完善顯影槽、蝕刻槽的保養(yǎng)規(guī)程，提高保養(yǎng)質(zhì)量。

2．繼續(xù)改進(jìn)ACS線蝕刻搖擺裝置，解決搖擺不良問題，提高蝕刻質(zhì)量。3．繼續(xù)關(guān)注曝光不良，查找原因，減少曝光不良。

4．針對(duì)性對(duì)部分崗位員工進(jìn)行專題培訓(xùn)，提高員工操作素質(zhì)。

5．計(jì)劃在新磨板機(jī)水洗段增加一對(duì)水洗噴管，提高火山灰磨板后的清洗效果。

擴(kuò)展閱讀：201*年上半年工作總結(jié)

201*年1-6月份工作總結(jié)

一、每月份的品質(zhì)趨勢(shì)

①外層干膜

0.80%0.60%0.40%0.20%0.00%1234560.75%0.59%0.49%0.40%0.48%0.33%L2目標(biāo)

1.60%1.40%1.20%1.00%0.80%0.60%0.40%0.20%0.00%1.38%1.18%0.76%0.90%0.67%0.75%L4目標(biāo)123456

②、內(nèi)層干膜

2.50%2.00%1.50%1.00%0.50%0.00%1234560.69%1.66%1.53%1.27%L4目標(biāo)2.35%2.05%

從上面數(shù)據(jù)可看出，在多層板內(nèi)、外層方面廢品率沒有得到有效的控制；在此半年工作中，組織對(duì)開、短路進(jìn)行品質(zhì)進(jìn)行改善，在改善中有一些成功的有效的案例如

P67033\\P67035的品質(zhì)改善（具體的改善內(nèi)容和分析數(shù)據(jù)見報(bào)告）:

70%60%50%40%30%20%10%0%電測(cè)直通率廢品率內(nèi)層短連率

58%前期26%24%11%12%5%改善批P47445的品質(zhì)改善（小批量試20片，具體的改善內(nèi)容和分析數(shù)據(jù)見報(bào)告）

項(xiàng)目AOI（雙面測(cè)試，以大塊計(jì)算）飛針直通率（以單元計(jì)算）合格率（以單元統(tǒng)計(jì)）合格率AOI一次合格率為16%97.8％99.5%（一單元底劃開路報(bào)廢）為什么批量板與此工藝試板的差異如此大，對(duì)電測(cè)判斷為內(nèi)層短連的板進(jìn)行復(fù)測(cè)分析，如P47422

P47422復(fù)測(cè)/分析31套為外層短量，主要為曝光垃圾和電測(cè)修理不良電測(cè)誤判率原為內(nèi)層短連84套33套為內(nèi)層短連（主要為偏板和蝕刻不凈）達(dá)60%20套原因不明在報(bào)廢分析過程中經(jīng)常發(fā)現(xiàn)電測(cè)誤判

二、上半年開、短路主要改善要點(diǎn)以及還存在的問題

缺陷點(diǎn)內(nèi)層短連改善要點(diǎn)概述1、內(nèi)層凈化間的清潔、控制目前還存在的問題1、凈化間合格率為60%備注2、試用超粗化微蝕液（因DI水的問題，試用沒有成功）板面余膠現(xiàn)象還是有（用去毛3、板面余膠（現(xiàn)確定為來料板面余刺機(jī)打磨和人工打磨的方法進(jìn)內(nèi)層短連膠），采用去毛刺機(jī)打磨和人工打磨行祛除，效果不是很好），如的方法進(jìn)行祛除P47438；蝕刻后出現(xiàn)短連1.每班生產(chǎn)前清潔15~30分鐘，1、外層凈化間的清潔、控制外層短連/曝光垃圾2、班組沒隔1小時(shí)清潔菲林及臺(tái)料號(hào)固定點(diǎn);如P45799AOI發(fā)現(xiàn)面（整點(diǎn)清潔）7處固定點(diǎn)2、干膜脫落產(chǎn)生的滲鍍班組已經(jīng)執(zhí)行;從AOI的數(shù)據(jù)統(tǒng)以后中途等板時(shí)清潔，但凈化度達(dá)不到要求,合格率為0%IPQC報(bào)表反映每周約有5--7個(gè)外層短連/干膜Ⅰ、對(duì)前處理烘干段進(jìn)行清潔，頻率：計(jì)此原因產(chǎn)生缺陷有明顯的降脫落產(chǎn)生的滲1次/班鍍低,減低幅度為60%Ⅱ、貼膜前增加靜電除塵機(jī)（已經(jīng)選機(jī)器的購(gòu)買正在進(jìn)行中，預(yù)計(jì)型）要兩個(gè)月以后才能買回從AOI的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)此原因產(chǎn)生外層短連/凹3、層壓排板間的改造、鋼板的定期坑、PP粉殘膠打磨（具體內(nèi)容見層壓改善的專題報(bào)缺陷沒有降低，而表現(xiàn)較明顯產(chǎn)生的滲鍍告）三、品質(zhì)改善總結(jié)：

鑒于上述的品質(zhì)月報(bào)數(shù)據(jù)、過程分析統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，在內(nèi)、外層開/短路的改善方面：雖然報(bào)表的數(shù)據(jù)與目標(biāo)有一定差距，但在改善過程中還是獲得一些成功的，如干膜本身產(chǎn)生滲鍍的改善措施是有效的。通過4個(gè)月的改善，最終可看出ME制定的內(nèi)、外層開短路改善的方向是正確的、改善措施是有效的；改善數(shù)據(jù)不明顯，主要因內(nèi)、外層干膜班組長(zhǎng)、生產(chǎn)監(jiān)督的執(zhí)行不力，改善措施得不到有效的、持續(xù)的保持（如：凈化間潔凈度100%不合格，干膜固定點(diǎn)得不到控制）；另還有一點(diǎn)：電測(cè)的誤判的不到有效的控制，最終月報(bào)的數(shù)據(jù)，開短路的改善數(shù)據(jù)還會(huì)不明顯。四、工藝制程能力的提升序號(hào)內(nèi)容要點(diǎn)結(jié)論已完成工藝試板的制作，結(jié)果可以1多層板穿孔間隙0.25mm提升至0.2mm進(jìn)行生產(chǎn)件制作，最終的定論還需要進(jìn)一步跟進(jìn)確定通過工藝試板的制作初步確定菲內(nèi)層單片為0.35mm/0.250.2mm/0.1mm2的菲林系數(shù)補(bǔ)償值的確定一步跟進(jìn)確定五、物料成本控制序號(hào)內(nèi)容要點(diǎn)結(jié)論1、杜邦XT型號(hào)重氮片已經(jīng)確定為合格供應(yīng)商，在線使用情況穩(wěn)定，較前期的成本便宜約5%1新物料的試用2、針對(duì)20‘*24‘殷田重氮片比杜邦便宜約29%、三正重氮片比杜邦便宜約20%，已經(jīng)完成物料的試用。在線直接物料得到控制，因拼板的尺寸加大，按原要求進(jìn)行更換溶液沒有出現(xiàn)異常的問題，物料出現(xiàn)2在線直接物料的控制負(fù)（20%）超標(biāo)的狀況，基于3-6月份的平均用量，對(duì)物料給予重新的定額。

林補(bǔ)償系數(shù)，最終的定論還需要進(jìn)六、綠油工序的品質(zhì)數(shù)據(jù)

0.70%0.60%0.50%0.40%0.30%0.20%0.10%0.00%0.66%0.41%0.29%0.21%L20.22%0.23%目標(biāo)123456

0.70%0.60%0.50%0.40%0.30%0.20%0.10%0.00%1234560.41%0.39%0.27%0.45%L4目標(biāo)0.63%0.62%

七、異常問題的處理（客戶投訴）序號(hào)1客戶投訴的異常問題明基OSP板（P28402，P28356）甩油處理結(jié)果3月中旬處理完，至今沒有此問題的客戶投訴2塞孔不飽滿，出現(xiàn)上錫的問題（客戶投訴）通過改善絲印的方法，目前已得到解決

上半年綠油工序的廢品率得到降低，并維持；物料的成本控制、工藝制程能力的提升具體的內(nèi)容見胡家寶的半年總結(jié)

八、下半年的工作計(jì)劃序號(hào)內(nèi)容開、短路的改善（主要針對(duì)干膜、層壓凹坑、PP粉產(chǎn)生的滲鍍短連）；黃海銀主要改善措施：1①凈化間潔凈度的控制，②靜電除塵機(jī)的引入使用，③層壓排板間的改造廢品率控制在2毛絮短連、線路損壞的品質(zhì)改善0.3%工藝制程能力提升：①多層板穿孔間隙0.25mm提升至0.2mm，符合批3量生產(chǎn)的要求；②不同厚度內(nèi)層單片的菲林補(bǔ)償系數(shù)值的確定成本控制：黃海銀4①主動(dòng)尋找物美價(jià)廉的物料供應(yīng)商②聯(lián)合（配合）采購(gòu)部做好低價(jià)的物料的引入56

積極配合各部門進(jìn)行異常問題的處理主動(dòng)或配合各部門產(chǎn)能的提升****黃海銀黃海銀**7月份完成黃海銀胡家寶品率0.6%魏勇干膜多層板廢周彬目標(biāo)責(zé)任人

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